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半導體/電子特氣領域純化設備供應商
HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器
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系列 Series |
雜質 Impurity |
入口 Inlet（ppm） |
出口 Outlet（ppb） |
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HON-CO2-S/W/VVV |
O2 |
＜3 |
＜1 |
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H2 |
＜1 |
＜1 |
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CO |
＜1 |
＜1 |
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CH4 |
＜0.5 |
-- |
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H2O |
＜3 |
＜1 |
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揮發性酸VA |
-- |
＜0.005 |
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揮發性堿VB |
-- |
＜0.5 |
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耐熔化合物RC |
-- |
＜0.005 |
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可冷凝有機物Corg |
-- |
＜0.15 |
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不凝有機物Ncorg |
-- |
＜1 |
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Flow |
10～3000Nm3/h |
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工藝介紹：
（1）使用特殊純化材料，通過物理和化學吸附方式脫除O2、CO、H2O、H2、揮發性酸VA、揮發性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機物Corg、不凝有機物Ncorg等雜質。
（2）吸附反應器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復使用。
（3）多柱交替吸附、再生，可連續供氣。
應用領域：
純化用于半導體應用的二氧化碳
氣體行業
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